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流量控制单元（FSCU）

FSCU（Flow System Control   Unit）是北京晓韬科技有限公司技术团队针对各大高校、科研院所的不同研究方向，为其量身打造的气体、液体流量控制系统单元，目前大量应用于材料、催化、环境、化学、物理等相关领域。

FSCU可通过触摸屏、PLC、PC软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器（如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等品牌）及电磁截止阀开关，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。

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电磁流量计流体控制注意事项

在工作时，铂丝检测元件用直流电流加热，温度大概比液体温度高出20°c左右，流量计的流体流经发生体时，在发生体两侧产生交变的压力差，在此压力差的作用下，流体产生吸入、吹出作用，导致热丝温度降低，引起它的电阻减小，从而***测量电桥平衡，输出电压信号。

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体积流量的表示方法

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）, 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI国际标准。

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使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源，气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围, 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品。

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