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常见类型

超声流量计，通过检测流体流动对超声束（或超声脉冲）的作用以测量流量的仪表。

电磁流量计，电磁流量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。电磁流量计有一系列优良特性,可以解决其它流量计不易应用的问题,如脏污流、腐蚀流的测量。

热式流量计，热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

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发展历史

17世纪托里拆利奠定差压式流量计的理论基础，这是流量测量的里程碑。流量测量的发展可追溯到古代的水利工程和城市供水系统。凯撒时代已采用孔板测量居民的饮用水水量。公元前1000年左右古埃及用堰法测量尼罗河的流量。我国都江堰水利工程应用宝瓶口的水位观测水量大小等等。如堰、示踪法、皮托管、文丘里管、容积、涡轮及靶式流量计等。自那以后，18、19世纪流量测量的许多类型仪表的雏形开始形成，如堰、示踪法、皮托管、文丘里管、容积、涡轮及厦门华世通靶式流量计等。20世纪由于过程工业、能量计量、城市公用事业对流量测量的需求急剧增长，才促使仪表迅速发展，微电子技术和计算机技术的飞跃发展推动仪表更新换代，新型流量计如雨后春笋般涌现出来，现场使用中许多棘手的难题可望获得解决。我国开展近代流量测量技术的工作比较晚，早期所需的流量仪表均从国外进口。流量测量是研究物质量变的科学，质量互变规律是事物联系发展的基本规律，因此其测量对象已不限于传统意义上的管道液体，凡需掌握量变的地方都有流量测量的问题。流量和压力、温度并列为三大检测参数。对于一定的流体，只要知道这三个参数就可计算其具有的能量，在能量转换的测量中必须检测此三个参数。能量转换是一切生产过程和科学实验的基础，因此流量和压力、温度仪表一样得到广泛的应用

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涡轮流量计

当流体流经涡轮流量传感器时，在流体推力作用下涡轮受力旋转，其转速与管道平均流速成正比，涡轮转动周期地改变磁电转换器的磁阻值，检测线圈中的磁通随之发生周期性变化，产生周期性的电脉冲信号。在一定的流量（雷诺数）范围内，该电脉冲信号与流经涡轮流量传感器处流体的体积流量成正比。

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你对气体流量控制器了解多少？

注：单位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；单位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。通入不同的工艺气体，建议选择对应气体的质量流量控制器，以保证输入气体的稳定和计量；不同的工艺气体，分子大小不同、化学特性不同，使用同规格的质量流量控制器会存在流量误差和安全隐患。

如使用的是常规工艺气体，也可选择一种气体作为标准，只需保证流量稳定即可；但是对于H2、CF4等特殊气体，可燃具有腐蚀性的气体，必须使用的质量流量控制器。

实验型真空等离子清洗机机，通常对流量控制要求不是非常严格，纯手动操作的设备，也会选用手动浮子流量计。