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发布时间:2022-02-12 10:54:58
FSCU 用途
将 FSCU 嵌入到应用系统中,FSCU 可通过触摸屏、PLC、PC 软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器(如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌)及截止阀,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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流体控制
流体控制是利用流体的各种控制元件(各种泵、阀门、油缸)及液压系统附件(过滤器、管路接头、液位计、压力仪表等),组成控制闭式回路,以进行自动控制。
气动控制,动作迅速、方便,使用的元件和工作介质成本低,便于现有机器设备的自动化改装,已经在国际上得到很大发展,成为热点之一。
期望大家在选购流量控制单元时多一份细心,少一份浮躁,不要错过细节疑问。想要了解更多流量控制单元的相关资讯,欢迎拨打图片上的***电话!!!
气体质量流量单位
气体质量流量单位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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