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气体流量控制器

测量管道内质量流量的流量测量仪表。在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30%，这会使流量产生30～40%的误差。随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。

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气体流量计应用领域

环境保护

工程烟气，废液、污水等的排放严重污染大气和水资源，严重威胁人类生存环境。***把可持续发展列为国策，环境保护将是21世纪的课题。空气和水的污染要得到控制，必须加强管理，而管理的基础是污染量的定量控制。我国是以煤为主要能源的***，***有上百万个烟囱不停地向大气排放烟气。烟气排放控制是根1治污染的重要项目，每个烟囱必须是安装烟气分析仪表和流量计，组成连椟排放监视系统。烟气的流量沆量有很大因难，它的难度为烟囱尺寸大且形状不规则，气体组分变化不定，流速范围大，脏污，灰尘，腐蚀，高温，无直管段等。

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正确选择

首先要对各式流量计的优点和缺点有充分认识，其次要对介质的物理性质和化学性质有充分认识，再次对安装现场的工艺条件和环境有充分认识，还要知道用户对流量计测量精度要求，考虑介质流量是不是满足流量计的流量范围要求，安装现场是不是满足流量计的现场安装要求，还要考虑有哪些情况和因素会影响流量计的计量。总结有 1.要重视产品选型2.要有好的产品3.要正确安装4.要注意日常维护5.要定期送检。

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注：单位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；单位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。通入不同的工艺气体，建议选择对应气体的质量流量控制器，以保证输入气体的稳定和计量；不同的工艺气体，分子大小不同、化学特性不同，使用同规格的质量流量控制器会存在流量误差和安全隐患。

如使用的是常规工艺气体，也可选择一种气体作为标准，只需保证流量稳定即可；但是对于H2、CF4等特殊气体，可燃具有腐蚀性的气体，必须使用的质量流量控制器。

实验型真空等离子清洗机机，通常对流量控制要求不是非常严格，纯手动操作的设备，也会选用手动浮子流量计。

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