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发布时间:2022-04-26 03:27:43
气体质量流量控制器的原理是什么?
质量流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源, 设定电位器, 和三位阀控开关等。
质量流量控制器能用比例阀代替吗?
不可以的,一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀,虽然可以起到一定的流量调节作用,但无法做到准确,稳定的流量控制,而气体质量流量控制器(MFC)是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流,是可以实现准确、稳定的流量控制,并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号,比例阀根本满足不了MFC能起到的作用。
如何通过质量流量控制器判断没有气体通过?
质量流量控制器(MFC)是用来控制气体流量的,质量流量计(MFM)是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用MFM。 当然MFC还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,可以为MFC设定一个大流量,MFC会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,压力比较小MFC就不能测出来了,因为MFC压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的MFM。
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