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气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?

气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差小于0.1 MPa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用MFC时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。

气体质量流量控制器工作原理

气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道，其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构，可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经由放大后输出，就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了MFC的功能。

如何通过质量流量控制器判断没有气体通过？

质量流量控制器（MFC）是用来控制气体流量的，质量流量计（MFM）是用来测量气体流量，如果你需要检测气体流量需要用MFM。  当然MFC还是有检测方法的，如果通过气体流量比较大，压比较大，可以为MFC设定一个大流量，MFC会反馈一个值，这个值就是气体的流量。  如果流量比较小，压力比较小MFC就不能测出来了，因为MFC压损通常是比较大的，如果气体流量比较小，压力比较小就没办法测量了，就需要抵压损的MFM。

气体质量流量控制器的零点漂移？

微小的零点漂移是不会影响传感器的测量精度和数值的，但是如果是零点漂移较大或用户在使用时，对零点漂移的数值有疑问，那么这时候如何解决漂移显得非常重要。 热式气体质量流量控制器和流量计会有零点漂移情况，零点漂移也就是管道中已经没有介质流动但质量流量计仍显示流量值。如果是零点出现大幅漂移，而且每次漂移差别很大，就需要检查管道内使用有大量的压力或气体残留，需要打开各种阀门，全部排空气体管路，防止设备或管路憋压。

一般造成质量流量计零点漂移的因素有许多，解决质量流量计零漂问题，首先要定期进行零点检查和调整，二是需要和工艺配合来解决。一般情况下，管道压力变化造成介质微量流动也会导致质量流量控制器/质量流量计的零点漂移，出现这种漂移时，要关闭流量控制器或流量计前段的电磁阀（流量控制器不能当做截止阀来使用），使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口，消除管道内的压力和气流，从而达到消除零点漂移。