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发布时间:2022-05-29 10:37:50
什么是气体质量流量控制器?
气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
如何通过质量流量控制器判断没有气体通过?
质量流量控制器(MFC)是用来控制气体流量的,质量流量计(MFM)是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用MFM。 当然MFC还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,可以为MFC设定一个大流量,MFC会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,压力比较小MFC就不能测出来了,因为MFC压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的MFM。
压力对于气体质量流量控制器影响有哪些?
市面上的热式气体质量流量控制器的耐压主要分为:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要为差压式(也称节流式) 流量计是基于流体流动的节流原理,利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要为热式流量计,热式流量计采用热扩散原理,热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式流量计有两个温度传感器被置于介质中时,其中一个传感器被加热到环境温度以上的温度,另一个温度传感器用于感应介质温度。
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