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气体质量流量控制器的密封材料如何选择？

质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。

气体质量流量控制器流速和流量之间的关系

流量通常分为体积流量、质量流量和重量流量三种：

体积流量的公式为Q=VS，Q代表气体的体积流量（m/s），V代表气体的平均流速（m/s），S代表气路管道的横截面积（㎡）。

质量流量则是M=ρQ=ρVS，M代表气体的质量流量（kg/s），ρ代表气体的密度（kg/m），Q代表气体的体积流量（m/s）。

重量流量则是G=γQ=ρgVS=gM，G代表气体的重量流量（kgf/s），γ代表气体的介质重度（N/㎡），M代表气体的质量流量（kg/s）。

使用气体质量流量控制器注意事项

1.怕粉尘, 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器, 导致数据误差, 所以建议在MFC进气口前加装过滤装置; 

2.怕液体和油渍进到MFC, 一旦有液体进入到MFC内部会导致无法控制,所以建议在MFC进气口前端还要加装干燥装置， 假如MFC的出口接有液体罐, 也要在MFC出口再加上单向阀, 避免液体流回; 

3.怕应用湿冷的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 导致MFC通道毁坏, 因而在应用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统开展烘干解决;，并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性，还要使用惰性气体对管路进行吹扫，然后再通腐蚀性气体，等MFC工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路，保证管路中不会残存腐蚀性气体。

4.怕在应用强腐蚀性、******及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作, 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。 

5.使用MFC前还需要将MFC进行通电预热，保证MFC在不通气时，瞬时流量处于0的位置，如果不通气时，瞬时流量显示有一定的数值，表示传感器出现“零漂”现象，可以先对MFC进行调零处理，否则将影响MFC的精度。

气体质量流量控制器显示方式有哪些

1、 分体二次数显仪表。采用按键式的操作方式，测量的精度高，多款外形尺寸可选，双四位的LED显示，支持电流、电压的输入方式，可带多个控制点、多窗口显示，适用于流量等过程量的监测，是一款非常高的产品。   

2、 本体触摸按键显示。在流量计本体即可进行流量大小的调节与显示，除了具有精度等级高，线性精度好以外，操作简单、便携也是本产品的一大主要特点。  

3、 触摸屏显示操作。这是一种智能化、自动化的操作方式，适合多气路以及产品的集成，一键启动，人机界面，具有灵敏的反应速度、易于交流、坚固耐用、节省空间等优点,是目前便捷、简单、自然的一种人机交互方式,用户只需用手指轻轻一点显示屏上的图标或文字就能操作,给人们的生活带来了很大的方便。